土地所有權人所有土地供作工廠(業)用地使用時，若在建廠期間，應檢附建造執照(建築物用途載明與物品製造、加工有關之用途)及其他相關文件；若在建廠完成後才提出申請，已達申辦工廠登記標準者，應檢附工廠登記證明文件，未達申辦工廠登記標準者，應檢附使用執照或其建築改良物證明文件(文件上用途記載與物品製造、加工有關之建築物)。